Industry Insight|Hversu mikilvægur er hreinleiki gass í hálfleiðaraframleiðslu?

Vel-staðfest samstaða ríkir í hálfleiðaraframleiðslu: efri mörk flísafkasta eru skilgreind af hönnun, en neðri mörk framleiðsluafraksturs eru háð hreinleika efnisins.

Myndin er fengin af netinu.

Allt frá hreinsun obláta og útfellingar þunnrar-filmu til ætingar og lyfjameðferðar, framleiðsluferlið fyrir einni 12-tommu oblátu felur í sér meira en 30 tegundir vinnslulofttegunda, þar á meðal sílan, ammoníak, köfnunarefnistríflúoríð, wolframhexaflúoríð, vetnisklóríð og fleira. Sérhvert gas verður að berast í hvarfhólfið með ofurmiklum hreinleika.

Snefilóhreinindi á ppb-stigi (raki, súrefni, svifryk) sem berast inn í gasleiðslurnar geta kallað fram galla í þunnri-filmu og mengun á yfirborði og dregið beint niður framleiðsluframleiðslu. Með því að taka 3nm ferlið sem dæmi, er hver einstakur flís virði hundruða Bandaríkjadala; aðeins 1% sveifla í ávöxtunarkröfu er nóg til að eyða hagnaði sem metinn er á tugi milljóna.

Innan hálfleiðaraiðnaðarins jafngildir „mikill hreinleiki“ ekki „vinnslu-tilbúið“. Raunverulega áskorunin felst í því að halda hreinleika - við að viðhalda-mengunarlausu gasi á allri afhendingarleiðinni frá gasgjafa að notkunarstað (POU).

Þrjár kjarnaverndarráðstafanir vinna saman til að ná þessu:

(1) Efnisval: Slöngur og lokar eru framleidd úr VIM+VAR tvöföldu endurbræddu 316L ryðfríu stáli til að lágmarka losun frumefna frá grunnefnum.

(2) Yfirborðsfrágangur: Grófleiki innra yfirborðs Ra Minna en eða jafnt og 0,25 μm (10 μin.) með raffæðumeðferð (EP) til að draga úr viðloðun agna og rakaupptöku.

(3) Hermetísk þétting: Lekahraði helíums Minna en eða jafnt og 1×10⁻⁹ atm·cc/sek til að loka algjörlega fyrir utanaðkomandi mengun.

VIGOR VUPS Ultra-High Purity vörulína nær yfir alla gasafhendingarkeðjuna sem uppfyllir SEMI staðla, þar á meðal myndbandstæki úr málmi-þéttibúnaði, há-hreinleika þindloka og tveggja-þrýstijafnara.

Allar vörur eru settar saman, prófaðar og tvöföldu-poka tómarúmi-pakkað í Class 100 hreinherbergi fyrir sendingu. Það sem viðskiptavinir fá eru ekki bara einstakir lokar, heldur fullkomið -og-spila ofur-öryggiskerfi fyrir mikla hreinleika.

VIGOR vörur hafa virkað á áreiðanlegan hátt í sérstökum gasflutningskerfum og CVD/PVD gasleiðslum á fjölmörgum oblátum, samhæfðar mikilvægum ferlilofttegundum eins og sílan, köfnunarefnistríflúoríð og bórtríklóríð.

Hálfleiðaraframleiðsla er endalaust kapphlaup við aðskotaefni - og markmið VIGOUR er að tryggja hreinustu mögulegu byrjunarlínu fyrir þessa keppni.