INTEGRATED GAS SYSTEM>>IGS vöruröð deiling
VIGOR býður upp á háþróuð samþætt gaskerfi (IGS) sem eru sérstaklega hönnuð fyrir há-hreinleika gasstýringu í hálfleiðaraframleiðsluiðnaði. Lausnirnar okkar sameina nýstárlega verkfræði með ströngum framleiðslustöðlum til að tryggja áreiðanleika, þéttleika og yfirburða afköst í mikilvægum forritum.
Eiginleikar vöru
- Notað til gasstýringar í hálfleiðaraiðnaði
- Modular hönnun
- Allir íhlutir eru yfirborðsfestir í samræmi við SEMl staðal
- Stærðin er um 1/3 af hefðbundnu spjaldinu
- SEMl staðlað efni, raffægingarferli og hringsuðu
- Wseal og C-seal valfrjálst
- Tvöfaldur poki í hreinu herbergi
- Allar vörur, nema „svigar“, eru allar framleiddar í samræmi við VS001A ferliforskriftina
IGS þrýstijafnarar VIR röð
1. Hámark. Vinnuþrýstingur: 150 psig
2. Hámark. Vinnuhiti: -40 gráður F ~ 140 gráður F (-40 gráður ~ 60 gráður)
3. Úttaksþrýstingur: 0~100 psig
4. Yfirborðsáferð: Max. 5uin. Ra
5. Efni: 316L VIM-VAR
6. Lokasæti: PCTFE (PFA/Vespel valfrjálst)
7. Flæðisgeta: Cv=0.08
IGS þindlokar VID röð
1. Hámark. Vinnuþrýstingur: 150 psig
2. Hámark. Vinnuhiti: PCTFE 14 gráður F ~ 176 gráður F (-10 gráður ~ 80 gráður); PFA 14 gráður F ~ 302 gráður F (-10 gráður gráður ~ 150 gráður)
3. Engin blindgötuhönnun
4. Blautt yfirborðið er meðhöndlað með EP, Max. 5uin. Ra.
5. Efni: 316L VIM-VAR
6. 100% Helium-leki-prófaður
7. Flæðisgeta: Cv=0.1
IGS flæðistýringarventlar VIM röð
1. Hámark. Vinnuþrýstingur: 150 psig
2. Hámark. Vinnuhiti: 14 gráður F ~ 302 gráður F (-10 gráður ~ 150 gráður)
3. Innsiglun: FKM
4. Blautt yfirborðið er meðhöndlað með EP, Max. 5uin. Ra
5. Flæðisgeta: Cv=0.03
IGS afturlokar VICV röð
1. Hámark. Vinnuþrýstingur: 150 psig
2. Hámark. Vinnuhiti: 14 gráður F ~ 176 gráður F (-10 gráður ~ 80 gráður)
3. Yfirborðsfrágangur: Hámark. 5uin. Ra
4. Sprunguþrýstingur: 0,33 psig
5. Flæðisgeta: Cv=0.2
Undirlag VlB röð (C-innsigli)
1. C-innsigli
2. Ó-föst uppsetning til að tryggja þéttingaráhrif
3. Blauti hlutinn er meðhöndlaður með EP
4. Yfirborðsáferð: Max. 5uin.Ra
5. Efni: 316L VIM-VAR
Kjarnavöruröð
- IGS þrýstijafnarar (VIR Series)
- IGS þindlokar (VID röð)
- IGS flæðistýringarlokar (VIM röð)
- IGS afturlokar (VICV röð)
- IGS undirlag og festingar (VIB Series)
- Þéttingar (VIG Series)
Af hverju að velja VIGOR IGS?
Kerfin okkar tákna samvirkni nákvæmnisverkfræði og hagnýtrar hönnunar, sem skilar:
- Rýmisnýting: Stórkostlega minni spjaldstærð.
- Ofur-Háhreinleiki: Efni og ferli sniðin fyrir forrit í hálfleiðara-gráðu.
- Modular sveigjanleiki: Auðvelt að stilla, stækka og viðhalda.
- Sannaður áreiðanleiki: Ströng próf og SEMI-staðlað samræmi.
Hjá VIGOUR bjóðum við upp á meira en bara íhluti-við bjóðum upp á samþættar lausnir sem koma hugmyndum þínum til skila af öryggi og nákvæmni.
