VIGOUR>>Trausti samstarfsaðili þinn fyrir háþróuð gasafhendingarkerfi
Í há-tækniiðnaði þar sem nákvæmni, hreinleiki og öryggi eru ó-viðræður, er áreiðanleg gasafgreiðsla grundvallaratriði. VIGOR hannar og framleiðir alhliða gasafhendingarkerfi sem uppfylla þessar mikilvægu kröfur og styðja við nýsköpun og framleiðni í alþjóðlegum rannsókna- og framleiðslugeirum.
Sérstakur gasgrind
VGR röð
- Stöðugt og ótruflað öruggt framboð á rafrænum-magnlofttegundum.
- Valfrjáls loftræsting og hreinsunaraðgerðir, með öryggisþrýstingsléttingu.
- Class 100 cleanroom soðið samsetning.
- Valfrjáls PLC-stýring með samskiptaviðmóti. sem hægt er að nálgast með snjöllu vöktunarkerfi.
- Háþrýstings-/lágþrýstingsviðvörun með hljóð- og sjónrænum merkjum, hægt að slökkva á neyðartilvikum.
- Snertiskjár fyrir strokkþrýsting og önnur gögn.
- Gerð: Sérstakur gasstýribúnaður
- Efni: SS 316L fyrir lokar og lagnaíhluti
- Gildandi lofttegundir: óvirkar lofttegundir (Ne, Kr, Ar, He osfrv.)
- Gasgjafaraðferð: Gashylki
- Aflgjafi: 110 ~ 240VAC
- Stillingar: Einn-strokka, tvískiptur-strokka
Sérstakur gasskápur
VGC röð
- Gerð: Sérstakur gasskápur
- Efni: SS 316L fyrir lokar og lagnaíhluti
- Gildandi lofttegundir: Eldfimar/sjálfkveikjandi lofttegundir, ætandi lofttegundir, eitraðar lofttegundir (td SiH4, HCL)
- Aflgjafi: 110~240V AC
- Hlíf: Tæringarþolið-soðið stál
- Glergluggi: Sjálfvirk-lokun
- Útblástursrör: Topp-útblástursrör
- Vöruumsóknir: Háskóla/rannsóknarstofur; Iðnaðarframleiðsla; Sólarorka; Lyfja- og líftækni; Hálfleiðara samþætt hringrás framleiðsla
- Hönnunarstaðlar: Samræmist SEMI S2 stöðlum; Uppfyllir alþjóðlegar eldvarnarreglur byggingar; Hámarksvinnuþrýstingur: 110% af prófunarþrýstingi
Gasstafasamsetningar
VUP röð
- Ofurhreint gasstöng fyrir öll gasafgreiðslukerfi
100TG: Minna en eða jafnt og 30 slpm afhendingu 1/4" VFS
200TG: Minna en eða jafnt og 300 slpm sendingar 3/8"VFS
300TG: Minna en eða jafnt og 600 slpm afhendingu 1/2"VFS
- Varan er framleidd í samræmi við VS001A ferliforskriftina
- Mikil stjórnunarnákvæmni
- Allar tengingar soðnar eða VFS
- Handvirkur eða pneumatic þind loki valkostur
- 100% helíum-leka-prófaður
- Inntaksþrýstingur P1: 300 psig (20bar)
- Úttaksþrýstingur P2: Vac að 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10bar)
- Efni þindloka: líkami 316L; Lokasæti PCTFE; Þind Elgiloy®
- Efni eftirlitsstofnana: líkami 316L/316L efri endurbræðsla; Lokasæti PCTFE; Þind Hastelloy®
- Lekahraði: (til andrúmslofts) 1x10^-9 mbar I/s He;
(í gegnum sæti) 1x10^-8 mbar I/s H
Þrýstistjórnborð
VUP-1U röð
- Þrýstistjórnborð (ein hliðargerð)
- VSR-100UBS/UCS röð eins þrepa eftirlitsbúnaður
- VDV33UBS röð loftloftsþindur Lokar
- VDV33UBS Series Inntaksferli þindlokar
- Orbital soðið VFS-andlitsþéttingartengingar
- Modular hönnun
- Hentar fyrir inntaksþrýsting allt að 3500 psig (250bar)
- Auðveld uppsetning í öryggisskáp fyrir gashylki
- 100% Helium lekaprófaður
- Inntaksþrýstingur P1: max.3500 psig (250bar)
- Úttaksþrýstingur P2: Vac að 10/30/60/100/150 psig (0,7/2/4/7/10 bör)
- Yfirborðsáferð: 10uin. Ra (25uin. Ra valfrjálst)
- Inntak og úttak: 1/4" VFS festing
- Hitastig: -40F til +160℉ (-40 gráður til +71 gráður)
- Flæðisgeta: Cv=0.09 (Cv=0.15 valkostur)
Hannaður fyrir ágæti og öryggi
Sérhvert VIGOR gasafhendingarkerfi er þróað í samræmi við ströngustu staðla:
- Hönnun og samræmi:Vörur eru í samræmi við SEMI S2 og alþjóðlegar brunavarnareglur, með öryggiseiginleikum eins og neyðarlokun-og þrýstiviðvörunum innbyggðum í gegn.
- Framleiðsluhreinleiki:Samsetning og svigsuðu fara fram í hreinherbergi í flokki 100, þar sem notuð eru-heildarefni eins og SS 316L og Hastelloy® C276 til að tryggja hreinleika kerfisins og langlífi.
- Staðfest heiðarleiki:Hver eining gengst undir strangar 100% helíum lekaprófanir, sem tryggir leka-þétt.
